ショーケースでは、重要な技術と製造上の利点を提供するように設計されたイオン注入装置のPurionおよびGSD Ovationシリーズを紹介します。
マサチューセッツ州ビバリー、 2023年12月5日 /PRNewswire/ – アクセリス・テクノロジーズInc.（ナスダック： ACLS）は本日、SEMICON Japan 2023展示会で、Purion™およびGSD Ovation™シリーズのイオン注入器を発表する予定であると発表しました。 会議や展示会が開催されています。 12月13～15日東京ビッグサイトから 東京、日本。 AxcelisはEast Hall 5、ブース＃5821に位置しています。
半導体メーカーは、アクセリス展を訪れ、重要な技術と製造上の利点を提供する革新的なイオン注入ソリューションについて直接学ぶことができます。
- プリオンパワーシリーズ™ – フルパワーデバイスアプリケーション全体にわたって、薄いシリコン、TAIKO、および炭化ケイ素（SiC）ウェハ処理のためのAxcelisの革新的なソリューションが特徴です。
- プリオンH™シリーズ – 新しいPurion H5™とPurion Dragon™を含む両方とも、高電流インプラントのための包括的なソリューションを提供するように設計されています。
- プリオンH200™ – Axcelisの最先端のシングルウェーハ高電流中間エネルギーインジェクタは、モノのインターネット（IoT）および電力アプリケーション用に設計されたデバイスの独自の注入要件を解決するように設計されています。
- プリオンXE™シリーズ – 新しいPurion XEmax™を含む業界最高の高エネルギーインプラントプラットフォームで、最大15MeVの最先端のイメージセンサーアプリケーション用に設計された特許取得済みのBoost Technology™を備えています。
- プリオンM™シリーズ – 最も広範な中間電流線量を提供し、今日進化するインプラント要件を満たすための優れた柔軟性を提供します。
- GSD Ovation™ – ウェーハ分割（SiおよびSiC）および代替基板（タンタル酸リチウムおよびセラミック）の新しいアプリケーションをサポートし、高電流および高エネルギー配置プラットフォームの機能を拡張する最も費用対効果の高い方法を提供します。
ショー中、Axcelisは次のイベントも開催します。 12月14日木曜日:
- SiCパワー素子製造イオン注入技術
参加者TechSPOTホール5、 午後15:30 – 15:50
チップメーカーが150mmから200mm SiCウェーハに移行するにつれて、パワーデバイス市場は重要な変曲点にあります。 イオン注入装置は、さまざまなウェハサイズ、さまざまな基板タイプを処理し、さまざまな注入温度で動作できる柔軟性を提供する必要があります。 - アクセリスハッピーアワーおめでとう
東莞5番ブース #5821, 16:00 – 午後17:00
ドリンクや軽食をお楽しみください。
Axcelis Technologies Russell Lowの社長兼最高経営責任者（CEO）は、「私たちはこの重要な市場の一部となり、最も先進的なイオンインプラント技術を顧客に提供する機会があることを嬉しく思います」と述べました。 日本 チップメーカー。 当社のアプリケーション固有のシステムファミリは、すべての既存および新興ICアプリケーションの高電流、中間電流、中間エネルギー、高エネルギー注入要件を解決しています。
チャールズ・ピエチュレフスキーアクセリス国家管理者、 日本「私たちは設置基盤が増えることを嬉しく思います。 日本 電力デバイスを製造し、顧客に最も革新的で実装可能なインプラント技術とサポートソリューションを提供することで、市場シェアの拡大に集中し続けています。 日本 顧客は、メモリ、ロジック、イメージセンサーのためのAxcelisの幅広いインプラント製品ポートフォリオに感銘を受け続けています.」
アクセリス（Axcelis）について：
アクセリス（ナスダック： ACLS）に本社を置く マサチューセッツ州ベバリー45年以上にわたり、半導体産業に革新的で生産性の高いソリューションを提供してきました。 Axcelisは設計、製造、 完全なライフサイクルサポート ~の イオン注入 システムは、IC製造プロセスで最も重要でアクティブなステップの1つです。 Axcelisの詳細をご覧ください。 www.axcelis.com。
アクセリス連絡先：
日本:
チャールズ・ピエチュレフスキー (国家管理者、 日本) 03.5860.2586
グローバル：
モリンハート (プライベート/メディア) +1.978.787.4266
ダグ・ローソン (投資関係) +1.978.787.9552
出典 Axcelis Technologies, Inc.
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